防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向無塵室傳達(dá)污染的首要辦法是:保持高潔凈度區(qū)域有關(guān)于低潔凈度區(qū)域、萬級車間凈化設(shè)計(jì)工程低潔凈度區(qū)域有關(guān)于效勞區(qū)域、效勞區(qū)域有關(guān)于室外有一個適宜的正壓值。這么就可削減由室外向效勞區(qū)域,效勞區(qū)域向低等級無塵室,低等級無塵室向高等級武鳴專業(yè)萬級車間凈化設(shè)計(jì)無塵室傳達(dá)空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好,很多理論研討和實(shí)習(xí)都證實(shí),人員、物料經(jīng)過門時,即使門兩邊關(guān)門壓差高達(dá)50Pa~60Pa,仍難肯定防止隨人員、物料向內(nèi)移動時的帶著氣流將污染帶入室內(nèi)。特別是當(dāng)門兩邊存在溫度差時,門打開后,即使無人走動,在開口斷面有些面積上也存在逆向氣流,帶入空氣的污染物。
專業(yè)萬級車間凈化設(shè)計(jì)凈化工程車間中怎樣有效的防止靜電產(chǎn)生?首先,從靜電產(chǎn)生的機(jī)理來看,應(yīng)該從降低有關(guān)物體的絕緣度著手,使兩物體即使摩擦也不產(chǎn)生和少產(chǎn)生靜電,對此有以下一些主要措施:1.保持環(huán)境有一定的濕度。2.武鳴萬級車間凈化設(shè)計(jì)鋪設(shè)防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導(dǎo)電性能的塑料地板或地毯產(chǎn)品,能十分有效抑制由于人的行走產(chǎn)生靜電。3.使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施,使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。4.半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然,有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。5.對于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應(yīng)有良好的接地性能,這種措施極為有效。
武鳴萬級車間凈化設(shè)計(jì)潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,專業(yè)萬級車間凈化設(shè)計(jì)無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個非 常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的 負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
武鳴萬級車間凈化設(shè)計(jì)工程潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。專業(yè)萬級車間凈化設(shè)計(jì)單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測點(diǎn)風(fēng)速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得。
武鳴萬級車間凈化設(shè)計(jì)無塵凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請求的進(jìn)步,工藝對溫濕度的請求也越來越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,專業(yè)萬級車間凈化設(shè)計(jì)這種車間不宜超越25度?!穸蛇^高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
咱們有必要在規(guī)劃和選用資料時就選用不易發(fā)作靜電,或發(fā)作靜電能敏捷泄漏的資料。專業(yè)萬級車間凈化設(shè)計(jì)在以往的規(guī)劃中咱們?yōu)榱耸轨o電電荷有敏捷逃逸的通路,通常只重視對地板的效果,即選用防靜電地板來消除靜電。并且只把體系電阻值約束在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的規(guī)范,如今看來是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。如今歐美、日本等國家在規(guī)劃潔凈室時現(xiàn)已不局限于防靜電地板了,對武鳴萬級車間凈化設(shè)計(jì)潔凈室間隔、墻面及潔凈的構(gòu)造體系等都思考在內(nèi)。如今在規(guī)劃時咱們也會充沛思考到防靜電的請求,如選用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔佐辦法或彌補(bǔ)辦法來戰(zhàn)勝靜電。使?jié)崈羰也话l(fā)作或少發(fā)作靜電。