桂林無塵車間凈化設備潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,正規無塵車間凈化設備無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非 常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的 負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
桂林無塵車間凈化設備無塵凈化車間的溫濕度主要是依據您的加工工藝請求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請求的進步,工藝對溫濕度的請求也越來越高,必需到達一定的溫濕度等級。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,正規無塵車間凈化設備這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結露,假如發作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
桂林無塵車間凈化設備無塵車間的圍護結構和室內裝修材料宜選用氣密性良好,同時在溫度、濕度等變化時,本身變形小的材料;墻壁和頂棚表面應光潔平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗。為了使無塵車間的建筑表面盡量少積灰、易清掃,應在建筑構造上避免或減少凹凸面,墻面與地面、墻面與頂棚、墻面與墻面的相接處也不宜做成一般的直角,宜做成半徑大于或等于50mm的圓角。正規無塵車間凈化設備壁面涂層的色彩要和諧、雅致、素淡,以便于顯現壁面上的污染物。同樣,地面也應做到平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚靜電、易除塵清洗。
1、吊頂需是專為正規無塵車間凈化設備無塵車間工程設計的系統,以便于安裝簡易快速、堅固、美觀。有干、濕兩類。干吊頂用于高效過濾風機系統,濕系統用于回風空調箱帶高效過濾風口系統。2、濕吊頂須用密封膠密封。3、桂林無塵車間凈化設備無塵車間工程中的車間墻為鋁合金板材,拆裝靈活。4、提升地板根據潔凈等級對換氣次數的要求不同,帶孔板的覆蓋率不同。安裝提升地板時,應先確定立柱的定位,用專用膠將柱固定在環氧地面上,并在膠干后測試其牢固程度。5、所有提升地板內管線不可在安裝立柱前施工。
防止從相鄰的潔凈度較低區域向無塵室傳達污染的首要辦法是:保持高潔凈度區域有關于低潔凈度區域、無塵車間凈化設備設計低潔凈度區域有關于效勞區域、效勞區域有關于室外有一個適宜的正壓值。這么就可削減由室外向效勞區域,效勞區域向低等級無塵室,低等級無塵室向高等級桂林正規無塵車間凈化設備無塵室傳達空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好,很多理論研討和實習都證實,人員、物料經過門時,即使門兩邊關門壓差高達50Pa~60Pa,仍難肯定防止隨人員、物料向內移動時的帶著氣流將污染帶入室內。特別是當門兩邊存在溫度差時,門打開后,即使無人走動,在開口斷面有些面積上也存在逆向氣流,帶入空氣的污染物。